產(chǎn)品特點(diǎn)

◆  7 寸彩色觸摸屏互動操作界面，自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20 個(gè)配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。

◆  PLC 工控機(jī)控制整個(gè)去膠過程，手動、自動兩種工作模式。

◆  石英真空艙，全真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。

◆  可選用石英舟，更適合晶元硅片去膠應(yīng)用。

◆  采用花灑式多孔道進(jìn)氣方式，改變單孔進(jìn)氣不均勻問題。

◆  采用防腐數(shù)字流量計(jì)，實(shí)現(xiàn)對氣體輸入精準(zhǔn)控制。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)，氣體分配均勻。 可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣或混合氣等氣體。

◆  HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

◆  處理高效均勻，效率高，工藝重復(fù)性好。

◆  樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。

◆  安全保護(hù)，艙門打開，自動關(guān)閉電源，機(jī)器運(yùn)行、停止提示。

 技術(shù)參數(shù)